新（改、扩）建的半导体行业企业自本文件实施之日即2024年5月1日起执行；对于半导体行业企业拟自2024年10月1日起执行。

适用的行业与范围

本标准规定了半导体行业企业水和大气污染物排放控制要求、监测以及标准的实施与监督等内容，适用于上海市范围内半导体行业企业及研制线水和大气污染物的排放管理，以及新建、改建、扩建项目的环境影响评价、环境保护设施设计、竣工环境保护验收、排污许可证核发及其投产后的水和大气污染控制与排放管理和半导体行业企业的污染物排放许可管理。

根据我国的《国民经济行业分类》（GB/T 4754-2017），本标准适用的行业为3972半导体分立器件制造和3973集成电路制造，并包括这两类半导体产品的封装测试行业。

水方面，本标准设置了21项水污染物控制项目。其中，一类污染物7项，同修订前标准；二类污染物14项，增加了石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂4项常规因子及总锌特征因子，删除了BOD5。

大气方面，本标准设置13个有组织大气污染物控制项目，新增氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧化物等8项。设置了氰化氢、氯气、氯化氢、非甲烷总烃等4项指标的无组织控制限值。其中有组织排放苯浓度限值为1mg/m³，总挥发性有机物浓度限值为60mg/m³，非甲烷总烃指标限值为50mg/m³；无组织排放非甲烷总烃指标应符合GB 37822的要求；无组织排放恶臭污染物指标应符合DB31/1025的要求。